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1200℃预加热滑动双温区PECVD系統

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所屬分類:PECVD系統
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PECVD系統是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

1200℃预加热滑动双温区PECVD系統产品概述:

産品應用:

PECVD系統是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

産品組成:

PECVD系統配置:

1.1200度開啓式雙溫區真空管式爐

2.滑動系統分爲手動、電動滑動,並配置管內測溫系統。

3.預加熱開啓式管式電爐

4.等離子射頻電源

5.多路質量流量控制系統

6.真空系統(可選配中真空或高真空)  

産品特點:

生長溫度低;沈積速率快;成膜質量好,適用範圍廣,設備簡單。

ag亚游官网平台電爐股份有限公司  地址:天津市北辰区北辰科技园区双川道11号

 

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