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1200℃双管滑动式单溫區/多溫區CVD系統

型    号:
所屬分類:CVD系統
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産品用途:此款CVD系統是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔電極方面的研究,通過滑動爐實現快速加熱和冷卻。

1200℃双管滑动式单溫區/多溫區CVD系統产品概述:

産品用途:

此款CVD系統是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔

電極方面的研究,通過滑動爐實現快速加熱和冷卻。

 

産品組成:

CVD系統配置:

1.1200度開啓式真空管式爐(可選配單溫區及雙溫區)。

2.滑動系統分爲手動、電動滑動,並配有風冷系統。

3.內外雙石英管,采用真空可通氣氛雙法蘭特殊連接。

4.多路氣體流量控制系統(質子流量控制器和浮子流量控制器)

5.真空系统(可选配中真空或高真空)     

 

産品特點:

産品獨特性

1 控制电路选用模糊PID程控技术,该技术控温精度高,热惯性小,温度不过冲,性能可靠,操作简单。

2 气路快速连接法兰结构采用本公司独有的知识产权设计,提高操作便捷性。

3 中真空系统具有真空度上下限自动控制功能,高真空系统采用高压强,耐冲击分子泵,防止意外漏气造成分子泵損壞,延長系統使用壽命。

4 (电动)滑动系统采用溫度控制器自动控制炉体移动,等程序完成,炉体按设定的速度滑动,因有滑动限位功能,爐體不會發生碰撞,待樣品露出爐體後,通過風冷系統快速降溫。

5 双管真空密封法兰,反应气体可以在内外管之间发生反应,冷却气体可通过内管,从而使内管外壁温度降低。

 

系統名稱

1200℃双管滑动式单/多溫區CVD系統

系統型號

CVD-12II6SH-3Z/G

CVD-12III9SH-3Z/G

極限溫度

1200℃

加熱區長度

610mm

940mm

恒溫區長度

400mm

700mm

溫區

双溫區

三溫區

石英管管徑

内管:Φ80mm   外管:Φ100mm

額定功率

4.8Kw

7.2Kw

額定電壓

220V

380V(三相)

滑動距離

485mm

650mm

滑動方式

手動滑動/自動滑動(由溫度控制器自動控制移動,當程序完成,爐子按設定的速度滑動)

溫度控制

國産程序控溫系統50段程序控溫;

控制精度

±1℃

爐管極限工作溫度

<1200℃

雙管法蘭連接

采用雙法蘭雙卡箍連接可擴展多功能,並且分別獨立對內管和外管進行真空和氣體流量控制.密封法蘭與管件連接的地方采用多環密封技術,在密封法蘭與管外壁間形成了密封,在管件外徑誤差較大的情況下密封仍然有效,該密封法蘭的安裝只需在首次使用設備的時候安裝

氣體控制方式

質量流量計

氣路數量

3路(可根据具体需要选配氣路數量)

流量範圍

0-500sccm(標准毫升/分,可選配)氮氣標定

精度

±1%F.S

響應時間

≤4sec

工作溫度

5-45℃

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

系統連接方式

采用KF快速連接波紋管、高真空手動擋板閥及數顯真空測量儀

規格

高真空

系統真空範圍

1x10-3Pa-1x10-1Pa

真空泵

真空分子泵理論極限真空度
5x10-6Pa抽氣速率1600L/S
額定電壓220V 功率2Kw

爐體外形尺寸

480×770×605mm

410×1100×605mm

系統外形尺寸

530×1440×750mm(不含高真空)

系統總重量

340Kg

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