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立式管式電爐

型    号:
所屬分類:1200℃立式管式電爐
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立式管式電爐公司采用国际化技术,自行研制开发的高性能高节能的新型电炉,产品具有先进的合理结构,广泛应用在薄膜生长、电极测试、氧化物晶体生长、退火等新工艺领域。配合真空和气路控制组成CVD控制系统,用于气相沉积法制备石墨烯

立式管式電爐产品概述:

立式管式電爐组成的CVD系统设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产,CVD系统除了主要应用在碳纳米材料制备行业外,现在正在使用在许多行业,包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域 。 

立式管式電爐的炉门开启自动断电功能,使炉门打开后自动断电。超温保护功能,当温度超过允许设定值后,自动断电及报警。  漏电保护功能,当炉体漏电时自动断电。以上功能确保了使用的安全性。

   CVD一、操作便捷性;
 
1、氣路連接方式采用了快速連接法蘭結構。
 
2、使取放物料過程簡化,只需一支卡箍便可完成氣路連接,方便操作。
 
3、取消了複雜的法蘭安裝過程,減少了爐管因安裝造成損壞的可能。
 
二、結構實用性;
 
1、1200℃立式管式電爐系列:加热炉膛有左右两部分组成,其中右部炉膛可整体向右翻转110°,方便取放、
 
觀察實驗物料,爐膛材料采用優質的多晶莫來纖維真空吸附制成,節能50%,溫場均勻。電熱元件采取高電阻優質合金絲0Cr27Al7Mo2。
 
2、 密封法蘭采用雙環密封技術,有效的提高了爐管兩端的氣密性。氣路具有進出氣微量可調功能。
 
3、兩端氣路支架,支撐著氣路裝置。有效消除了氣路總成自身的應力,杜絕了因自身應力而造成的爐管損壞。
 
4、先進的空氣隔熱技術,結合熱感應技術,當爐體表面溫升到達50℃時,排溫風扇將自動啓動,使爐體表面快速降溫。
 
三、使用安全性;
 
1、爐膛開啓自動斷電功能,使爐門打開後自動斷電。
 
2、超溫保護功能,當溫度超過允許設定值後,自動斷電及報警。
 
3、漏電保護功能,當爐體漏電時自動斷電。以上功能確保了使用的安全性。
 
四、控制智能化;
 
1、電爐溫度控制系統采用人工智能調節技術,具有PID調節、模糊控制、自整定功能,並可編制各種升降溫程序。
 
2、國産程序控溫系統可編輯50段程序控溫,進口程序控溫系統可編輯40段程序控溫。
 
3、電爐內配置有485轉換接口,可選配專業軟件實現與計算機相互連接。完成與單台或多達200台電爐的遠程控制、
 
實時追蹤、曆史記錄、輸出報表等功能。
 
五、周邊拓展性;
 
1、真空控制系統。通過各種真空控制系統,可以實現樣品在低、中、高真空環境下進行試驗。
 
2、氣體流量控制系統。通過浮子或質量流量控制器調節進氣量,以滿足用戶在不同反應氣氛或保護氣氛條件下的
 
實驗要求。
 
六、設計獨特性;
 
该设备为产品,具有多项独立自 主的知识产权。外观美观,结构合理,使用方便。
 
選配:彩色觸摸屏;
 
顯示畫面有儀表屏、光柱圖、實時曲線、曆史曲線、數據報表、報警報表等、全中文觸摸式操作,功能全面並且使用方便。

 

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